2021年8月11日号　工業用クリーンルーム特集

2021年8月11日号　工業用クリーンルーム特集バックナンバー

★工業用クリーンルーム特集★
半導体産業のみならず、近年は様々な製造業界で利用拡大が続くICR（インダストリアル・クリーン・ルーム）技術の最新を詳報

高まる半導体需要下支え　空調冷熱応用技術	工業用クリーンルーム特集
CR用旋回流誘引型成層空調システム　TCR-SWIT導入加速　省エネ効果評価高く　半導体製造ライン前工程で	高砂熱学工業
特殊要求にきめ細やかな対応　ICRの維持管理を付加価値に　ライフサイクル全体で顧客満足を	ダイキンアプライドシステムズ
微粒子可視化技術「ViEST」に最新ラインアップ　異物や汚れの表面可視化　ソリューション事業部　CR工事部門と積極連携	新日本空調
半導体・電子部品の設備投資が増勢の中ー　材工込みのICR形成で支持高く　日軽パネルシステムの『工業向けクリーンルーム』事業　設計力などソフト面でも評価集める	日軽パネルシステム
ケミカルフィルター＆クリーン機器事業　販売・受注とも高水準　半導体業界の積極投資を背景に	日本ピュアテック
機能性エアフィルタ「フィルテクトシリーズ」　CR用途でHEPAフィルタ伸長	ユー・イー・エス
ハイレベルな清掃空間の提供で実績	ガリレイパネルクリエイト
様々なニーズに対応するCR専用外調機	クボタ空調
大型や装置・局所用など多彩なFFUを展開	東プレ
ケミカルフィルタに特色	近藤工業